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UNIPOL-1203 化學機械磨拋機，適用于CMP 平坦化和平滑化工藝技術， 整機研磨部分采用防腐材料，
耐化學腐蝕，配置自動滴料器和精密磨拋控制儀，全自動觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面
型加工的需求。
| 性能指標和基本配置 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 產品名稱 | UNIPOL-1203 化學機械磨拋機 | |||
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無 4、工作臺：尺寸 800mm×600mm×700mm，承重200kg 以上 5、通風裝置：不需要 | |||
| 主要特點 | 1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每 25mm×25mm 小于 0.0025mm）。 2、超精旋轉軸（托盤端跳小于 0.01mm）。 3、設有兩個加工工位，可分別進行控制。 4、配有全自動控制觸摸屏面板，可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。 5、配置自動滴料器，流量速率可視化調整，自動研磨和拋光。 6、配置 GPC-100A 精密磨拋控制儀，可調節壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料，耐化學腐蝕。 | |||
| 技術參數 | 主機部分 1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉速:10-240rpm 4、磨拋工位:2 個 5、擺臂調節檔位:1-15 檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環:φ127.5mm | GPC-100A 精密磨拋控制儀 1、載樣盤直徑：?103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調加載壓力：0.1kg-2.1kg 5、壓力確認儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸：直徑≤ 103mm、厚度≤12mm 8、尺寸：外徑 146mm，高266mm | 自動滴料器 SKZD-2 滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm；重量：3kg SKZD-4 自動滴料器 1、加液泵：4 個 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計時范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm；重量：10kg | |
| 產品規格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm 2、重量:74Kg | |||
| 標準配件 | 1 | 鑄鐵研磨盤 | 1個 |  |
| 2 | 不銹鋼拋光盤 | 1個 |  | |
| 3 | 載物盤 | 1個 |  | |
| 4 | 修盤環 | 1個 |  | |
| 5 | SKZD-2 滴料器 | 1個 |  | |
| 6 | SKZD-4 自動滴料器 | 1個 |  | |
| 7 | GPC-100A 精密磨拋控制儀 | 1個 |  | |
| 8 | 拋光墊（磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各1片 |  | |
| 9 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg |  | |
| 10 | 石蠟棒 | 4個 |  | |
| 可選配件 | 1、YJXZ-12 攪拌循環泵 2、精密測厚儀 3、陶瓷研磨盤 4、玻璃研磨盤 5、磁性樹脂金剛石研磨片 | |||
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