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    PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

    PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

    簡要描述:PCE-44 小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵

    產品型號:

    所屬分類:臭氧清洗機

    更新時間:2023-11-06

    廠商性質:生產廠家

    詳情介紹

    PCE-44 小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

     性能指標和基本配置
    電源

    220V 50/60HZ

    紫外燈

    ● UV燈管
    ● 功率:55W
    ● 發出光的波長:波長254nm+185nm
    ● 使用壽命:6000h小時
    ● 照射區域:100 x 100 mm
    ● 光照強度:4.6 mw/cm2
    1

    腔體

    ● 抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm
    ● 標配高純石英片用于盛放樣品,避免污染
    1

    應用

    ● 去除分子級別的污染物
    ● 紫外光固化粘合劑
    ● 紫外光催化
    ● 氧化PDMS
    ● 表面消毒
    ● 刻蝕
    ● 清洗MEMS 器件
    ● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

    環境要求

    ● 僅室內使用; 海拔高度在5,562英尺以內
    ● 溫度范圍41-104華氏度
    ● 最大相對濕度80%,最高87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度
    ● 主電源波動不超過標稱電壓的10%
    ● 污染等級2; 臭氧水平(環境)測量<45 ppb

    外形尺寸

    240mm*200mm*165mm
    1

    凈重4kg
    認證

    所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

    1

    保修期一年保修,終身技術支持。
    特別提示:
    1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
    點擊查看售后服務承諾書。

    PCE-44 小型紫外臭氧清洗機

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