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GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀是等離子槍和可控制的樣品臺結合在一起的產品，有自動控制的樣品臺，就可使等離子槍按設定程序對樣品表面進行更均勻涂覆和處理，保證處理樣品表面的一致性和均勻性。此系統是由RF發生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺（帶有真空吸盤和控制盒）。此系統產生等離子束可在非真空和低溫狀態下活化和清洗樣品表面，可處理的樣品有單晶片，光學元件和塑料等，也可在常壓下進行等離子增強氣相沉積。
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 主要參數 | ● 工作環境：溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH |
| RF發生器 | ● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV |
| 輸入氣體氣壓，工作氣體 | ● 40 PSI min.(0.055 Mpa) |
| 樣品臺和控制柜 | ● 配有可在X-Y軸移動的樣品臺，通過步進電機驅動，采用SBC控制盒控制 |
| 外形尺寸 | 處理樣品臺尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H |
| 凈重 | 55kg |
| 文獻 | 請點擊鏈接以了解更多關于AP-PECVD應用的信息：常壓等離子體增強化學氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長薄膜。 |
| 質量認證 | 所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
| 保修期 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
GSL-1100X-PJF 等離子表面處理儀
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